[发明专利]压印装置、压印方法和压印模具无效
| 申请号： | 200680038978.0 | 申请日： | 2006-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN101292195A | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 末平信人;关淳一;稻秀树 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 柳爱国 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种将提供给模具的图案压印到衬底或衬底上的元件上的压印装置，包括：光源，其用光辐照与所述衬底相对布置的所述模具的表面和所述衬底的表面；光学系统，其用于将来自所述光源的光导引到所述模具的表面和所述衬底的表面并且将来自这些表面的反射光导引到分光镜；分光镜，其用于将所述光学系统导引的反射光散射成光谱；和分析器，其用于分析所述模具的表面和所述衬底的表面之间的距离。所述分析器通过测量所述模具的表面和在远离所述模具的表面的位置形成的表面之间的距离计算所述模具的表面和所述衬底的表面之间的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 方法 模具 | ||
【主权项】：
1.一种将提供给模具的图案压印到衬底或衬底上的元件上的压印装置，所述压印装置包括：光源，其用光辐照与所述衬底相对布置的所述模具的表面和所述衬底的表面；光学系统，其用于将来自所述光源的光导引到所述模具的表面和所述衬底的表面并且将来自这些表面的反射光导引到分光镜；分光镜，其用于将所述光学系统导引的反射光散射成光谱；和分析器，其用于分析所述模具的表面和所述衬底的表面之间的距离；其中所述分析器通过测量所述模具的表面和在远离所述模具的表面的位置形成的表面之间的距离计算所述模具的表面和所述衬底的表面之间的距离。
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