[发明专利]具有变化厚度、轮廓和/或形状的介电材料和/或空腔的静电卡盘组件、其使用方法及结合有其的装置有效
| 申请号： | 200680036504.2 | 申请日： | 2006-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN101278368A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 拉金德尔·德辛德萨;埃里克·伦茨;路民·李;费利克斯·科扎克维奇 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01H23/00 | 分类号： | H01H23/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚;尚志峰 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种静电卡盘组件(100)，其具有变化厚度、轮廓和/或形状的介电材料(108)和/或具有空腔(106)。该静电卡盘组件包括导电支撑件(102)和静电卡盘陶瓷层(104)。介电层(108)或者插入件位于该导电支撑件(102)和静电卡盘陶瓷层之间。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 变化 厚度 轮廓 形状 材料 空腔 静电 卡盘 组件 使用方法 结合 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于等离子体处理装置的静电卡盘组件，所述静电卡盘组件包括：导电支撑件，可操作地连接到连接器进而连接到所述等离子体处理装置的RF电路；静电卡盘陶瓷层，具有在第一分界面的至少第一区域与所述导电支撑件相接触的第一表面和用于放置半导体基片的第二相对表面；在所述第一分界面的第二区域在所述导电支撑件中的空腔；以及在所述空腔内的介电材料插入件。
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