[发明专利]用于从基片去除氟化聚合物的装置和方法无效
| 申请号： | 200680035702.7 | 申请日： | 2006-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN101273429A | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 衡石·亚历山大·尹;约翰·博伊德;安德拉斯·库蒂;安德鲁·D·贝利三世 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J7/24 | 分类号： | H01J7/24;H01L21/302 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚;尚志峰 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 披露了一种产生用于从基片去除氟化聚合物的等离子的装置。该实施方式包括通电电极组件，其包括通电电极、第一介电层、以及第一金属丝网，该第一金属丝网设置于该通电电极和该第一介电层之间。该实施方式还包括接地电极组件，其相对该通电电极组件设置，从而形成腔，在该腔中产生该等离子，当该等离子存在于该腔中时，该第一金属丝网通过该第一介电层与该等离子屏蔽，该腔在一端具有出口，用于提供该等离子以去除该氟化聚合物。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 去除 氟化 聚合物 装置 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种产生用于从基片去除氟化聚合物的等离子的装置，包括：通电电极组件，包括通电电极，第一介电层，以及第一金属丝网，其设置于所述通电电极和所述第一介电层之间；以及接地电极组件，其相对所述通电电极组件设置，从而形成腔，在该腔中产生所述等离子，当所述等离子存在于所述腔中时，所述第一金属丝网通过所述第一介电层与所述等离子屏蔽，所述腔在一端具有出口，用于提供所述等离子以去除所述氟化聚合物。
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