[发明专利]导电性金属氧化物薄膜除去方法以及装置无效
| 申请号： | 200680027925.9 | 申请日： | 2006-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN101233088A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 大工博之;井上铁也 | 申请（专利权）人： | 日立造船株式会社;日立造船精密科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C23/00 | 分类号： | C03C23/00;C25F3/00;C25F7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 范征 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供不留伤痕或应力变形等地除去导电性金属氧化物薄膜的方法以及装置。所述装置具有以一端浸渍于电解液17的状态配置的第1电极18；以浸渍于加工槽16内的电解液17的基材12的导电性金属有机物薄膜11为负极的条件，以一端浸渍于电解液17的状态配置，所述一端与导电性金属氧化物薄膜11相对的第2电极13；以该第2电极13为正极、且第1电极18为负极的条件施加直流电压的电源14。在两电极13、18上施加交流电压，通过还原反应除去导电性金属氧化物氧化物薄膜11。本发明可以将导电性金属氧化物氧化物薄膜不发生损伤或应力变形地高效率地除去，能够实现高价的功能性玻璃基板等的再生利用。 | ||
| 搜索关键词： | 导电性 金属 氧化物 薄膜 除去 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.导电性金属氧化物薄膜的除去方法，其特征在于，具有浸渍于电解液的具有导电性金属氧化物薄膜的基材、被浸渍于电解液的第1电极以及被浸渍于电解液且与所述导电性金属氧化物薄膜相对地配置的第2电极，通过以第1电极为负极、第2电极为正极的条件施加电压，以还原反应将所述导电性金属氧化物除去。
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