[发明专利]用于在常压等离子体中疏水和超疏水处理的表面涂覆方法有效
| 申请号： | 200680024873.X | 申请日： | 2006-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN101222983A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 康邦权 | 申请（专利权）人： | 康邦权 |
| 主分类号： | B05D3/14 | 分类号： | B05D3/14 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 钟晶 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种使用常压等离子体在工件表面涂覆碳氟化合物或烃的方法。更特别的，本发明涉及一种使用在常压产生的等离子体在工件表面涂覆烃或碳氟化合物从而使得该工件可以具有疏水性或超疏水性表面的方法。根据本发明采用碳氟化合物将工件表面涂覆成疏水的或超疏水的的方法包括步骤，通过将一种反应气体供入一个形成在第一电极和第二电极之间的放电空间，产生第一常压辉光等离子体，该反应气体包括氢气、碳氟化合物气体和惰性气体，第一和第二电极被连接到一个常压等离子体发生器的RF电源；将该工件靠近流过该放电空间的反应气体下游的第一电极，由此，在该放电空间产生的等离子体被传递到第一电极和该工件之间的空间，以在其中产生第二常压辉光等离子体，借此，一种碳氟化合物涂层可被形成在该工件的表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 常压 等离子体 疏水 处理 表面 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用碳氟化合物涂覆工件的表面的方法，包括步骤：通过将反应气体供应到形成于第一电极和第二电极之间的放电空间，产生第一常压辉光等离子体，所述反应气体包含氢气、碳氟化合物气体和惰性气体，第一电极和第二电极与常压等离子体发生器的RF电源相连；以及将工件靠近在流过所述放电空间的反应气体的下游的第一电极，使得在所述放电空间中产生的等离子体被传送到第一电极和所述工件之间的空间，以在其中产生第二常压辉光等离子体，由此，在所述工件的表面上形成碳氟化合物涂层。
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