[发明专利]微机械传感器、传感器阵列和方法有效
| 申请号： | 200680024868.9 | 申请日： | 2006-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN101218503A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | H·瑟帕;K·塔普拉;J·土普瑞尼恩;T·玛蒂拉;A·阿拉斯塔洛;H·海勒;A·欧加 | 申请（专利权）人： | 芬兰国立技术研究中心 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/22;B81B7/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 芬兰埃*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及适用于分析液态样品的微机械传感器以及这类传感器的阵列。本发明也关注适用于检测液态样品的方法以及适用于微机械分析液相样品的纵向体声波的使用。这种传感器包括主体以及与主体分开的平面波导部分。至少一个电－机械换能器元件用于响应于电激励而将纵向体声波激励到波导部分，并还用于将声波转换成电信号。波导部分具有样品接受区域，可以将样品引入到它上面。借助于本发明，能够提高微机械液态传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 阵列 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于分析样品的微机械传感器，它包括：-主体(100，400，500，800，900)；-平面波导部分(106，406，506，806，906)，与主体分开；-至少一个电-机械换能器元件(110，410，510，810，910)，位于波导部分的横向一侧，用于响应于电激励而将声波激励到波导部分中；以及-样品接受区域(104，404，504，804，904)，位于波导部分的一个表面上，用于接受样品(101，401，501，801，901)；其特征在于：-至少一个换能器元件适用于将纵向体声波激励到波导部分。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于芬兰国立技术研究中心，未经芬兰国立技术研究中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680024868.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种热塑性聚烯烃防水卷材及其基片的制造方法
- 下一篇：风电场的功率调节
