[发明专利]靶组件、靶、背板和冷却靶的方法无效
| 申请号： | 200680024290.7 | 申请日： | 2006-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN101213319A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | W·H·霍尔特;S·R·赛尔斯;V·斯佩奇亚尔;S·费拉斯;H·A·德特拉夫;S·D·赖特;F·阿尔富德;A·N·A·弗拉格 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;黄力行 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明包括具有冷却剂导流板的背板，其中各导流板的至少一部分是非线性的。从背板中凸出来的凸起部构造成能够插入到溅射靶的开口中。本发明包括具有至少一个开口的靶，所述开口接受穿过背面而延伸到靶中的紧固件。本发明包括一种靶组件，其具有从背板中凸出来并可插入到靶的开口中的凸起部。本发明包括一种具有设置在靶和背板之间的多个冷却剂导流板的靶组件。各导流板的一部分是非线性的。本发明包括冷却靶的方法。冷却剂导流板设置在靶和背板之间的间隔中，其中冷却剂导流板沿着其长度的至少一部分是非线性的。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 背板 冷却 方法 | ||
【主权项】：
1.一种靶背板，包括：构造成与溅射靶对接的第一面；与所述第一面相反的第二面；和设置在所述第一面上的多个导流板，其中各导流板的至少一部分是非线性的。
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