[发明专利]通过化学喷雾热解在基材上制备氧化锌纳米棒的方法无效
| 申请号： | 200680017046.8 | 申请日： | 2006-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN101203948A | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 马勒·克朗克斯;伊洛纳·奥加;泰特加纳·德多瓦 | 申请（专利权）人： | 塔林科技大学 |
| 主分类号： | H01L21/368 | 分类号： | H01L21/368 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 爱沙尼*** | 国省代码： | 爱沙尼亚;EE |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在350℃－600℃的适宜沉积温度下通过化学喷雾热解，在基材上制备纳米结构氧化锌层的方法。制备包含作为前体的氯化锌或醋酸锌的水溶液或含水醇溶液，并将其喷雾至预热的基材上，以使得前体反应，从而在基材上形成氧化锌层。还可向溶液中加入硫脲或脲。可使用玻璃、硅或覆盖有金属氧化物的玻璃作为基材。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 化学 喷雾 基材 制备 氧化锌 纳米 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在具有第一表面和第二表面的基材上制备纳米结构氧化锌(ZnO)层的方法，该方法包括下列步骤：加热所述基材至预定温度；采用喷雾技术使包含前体和溶剂的溶液雾化成微小离散的液滴，其中所述前体选自氯化锌(ZnCl2)和醋酸锌(Zn(CH3COO)2)；和在所述基材的第一表面上采用预定的溶液供给速率沉积所述雾化溶液，其中当所述溶剂到达所述基材时，所述溶剂蒸发，且所述前体反应形成纳米结构氧化锌层。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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