[发明专利]包括多个激光器的相对运动传感器

摘要

一种用于测量物体(15)与传感器彼此相对运动的相对运动传感器，该传感器包括多个激光器(3，5)，用于生成各自的测量光束并利用所述光束照射物体(15)，以及多个各自的光电二极管(4，6)，其用于测量由重新进入各自的激光腔中的反射的测量光束辐射与激光腔中的光波引起的每个激光腔的工作变化。该多个激光器(3，5)按照时分复用的方式工作，从而在任一时刻仅工作激光器的一个子集(也就是，一个或多个激光器)，同时其余的激光器空闲。这降低了峰值功率消耗，并防止由一个激光器发出的测量光束辐射进入另一个激光腔中而引起的错误的干涉。

主权项

1.一种用于测量物体(15)或其他物质与所述传感器沿着至少一个测量轴(X)彼此相对运动的相对运动传感器，该传感器包括多个激光器(3，5)，每一个激光器都具有相对应的激光腔，用于生成各自的测量光束(13，17)并利用所述光束照射物体(15)或其他物质，其中由所述物体(15)或其他物质反射的至少一些测量光束辐射重新进入各自的激光腔，该装置进一步包括用于测量由重新进入所述各自的激光腔中的反射的测量光束辐射与所述激光腔中的光波发生干涉引起的每个所述激光腔的工作变化的部件(4，6)，以及用于提供代表所述变化的电信号的部件(24)，其中提供了用于在任一时刻选择性地操作所述多个激光器(3，5)的子集以生成各自的测量光束(13，17)的子集的部件(26)，在部件(26)操作所述多个激光器(3，5)的子集的同时其余激光器(3，5)基本上不工作。