[发明专利]利用光学三角测量法的光学测量装置

摘要

本发明涉及光学三角测量装置，其用于测量相对于且垂直于平面参考面(L)的待测面(W)的距离(d)和倾斜。本发明装置包括：装置(8)，其用于沿着相同的路径交替地发射两条不同波长的光束(F_L，F_W)；分束器装置(9)；分光器(11)，其用于将交替分裂的光束导向表面(L)和(W)，光束经其反射(F_L，F_W)以使彼此会聚；光束组合器(12)，其收集两组反射光束并将其沿着同一个光学输出路径引导；包括光导发光传感器(15)装置(14)，光导发光传感器按与多光束相关的方式放置以交替地接收两个光图像(16_L，16_W)，并且传输(20)代表上述两个光图像每个能量质心位置的信号；装置(17，18)，其用于在两条交替发射的光束和光导发光传感器上的两个光图像之间同步时间；装置(17)，其用于处理来自光导发光传感器的信号以使提供关于被测面(W)位置和倾斜的信息。

主权项

1.一种利用光学三角测量法的光学测量装置，其用于测量，相对于平面参考面(L)以及在与所述参考面基本垂直的方向，待测面(W)两个方向上的距离(d)和倾斜，所述待测面能够局部地类似于平面，其特征在于，其包括：-光发射器装置(8)，其适于以给定的重复频率分别在第一波长范围内(ΔλL)和第二波长范围(ΔλW)内交替地发射两条光束(FL，FW)；-分束器装置(9)，其适于从每条单独的入射光束(FL，FW)中生成若干条分开的平行光束(FL’，FW’)，所述平行光束(FL’，FW’)的数量至少为三条且按预定的结构分布；-分光器(11)，其适于将每组入射光束(FL’，FW’)分别导向两个与所述两个波长范围(ΔλL，ΔλW)相关的不同方向，所述分光器(11)相对于所述参考面(L)和待测面(W)侧向放置，以使得两组输出光束(FL’，FW’)沿着长度基本相同的路径分别导入所述参考面(L)和待测面(W)，分别经反射(FL”，FW”)后彼此会聚。-光束组合器(12)，其适于收集来自同一入射光束的所述两组反射光束(FL”，FW”)，并将其沿着同一光学输出路径交替地引导；-用于接收每组所述输出光束(FL’，FW”)的传感器装置(14)，所述传感器装置(14)包括光导发光传感器(15)：·其数目少于或等于所述多光束的数目，·其以与所述多光束的配置相关的配置方式放置，以使每个光导发光传感器(15)交替地接收两个光图像(16L，16W)，所述两个光图像(16L，16W)分别由两组交替的光束(FL’，FW’)形成，且·其适于传输(在20)代表所述两个光图像(16L，16W)的每一能量质心位置的输出信号；-同步装置(17，18)，其用于在所述光发射器装置(8)发射的所述两条交替光束(FL，FW)与在所述光导发光传感器(15)上形成的所述两个图像(16L，16W)之间建立时间联系；-用于处理所有由所述光导发光传感器(15)传输的所述信号的装置(17)，以提供有关所述待测面(W)相对于所述参考面(L)的位置和倾斜的信息。