[发明专利]扫描束装置的资料处理方法

摘要

在将来自多个荷电粒子束源的荷电粒子束二维扫描于试料上，并形成扫描图像的扫描束装置中，具有：第1步骤(S3)，其针对借由各荷电粒子束所获得的各扫描图像的讯号强度，求出讯号强度分布；第2步骤(S4)，其以成为同一分布形状的方式使各讯号强度分布的分布形状一致；以及第3步骤，其求出使各讯号强度分布的分布形状为同一分布形状时的各扫描图像的讯号强度。注目在由试料的测试对象而获得的扫描图像的强度分布的分布形状，在来自各荷电粒子束源而获得的扫描图像中，使该强度分布的分布形状一致，因此无需使用基准强度，即可降低借由多个荷电粒子束源所取得的扫描图像的讯号强度的不均一。

主权项

1.一种扫描束装置的资料处理方法，将来自多个荷电粒子束源的荷电粒子束二维扫描于试料上，并形成扫描图像的扫描束装置中，其特征在于包括：第1步骤，其针对借由各荷电粒子束所获得的各扫描图像的讯号强度，分别求出讯号强度分布；第2步骤，其以成为同一分布形状的方式使上述各讯号强度分布的分布形状一致；以及第3步骤，其求出使上述各讯号强度分布的分布形状成为同一分布形状时的各扫描图像的讯号强度。