[发明专利]用于形成精密微细空间的顶板部的感光性层合膜及精密微细空间的形成方法有效
| 申请号： | 200680001574.4 | 申请日： | 2006-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN101091138A | 公开（公告）日： | 2007-12-19 |
| 发明（设计）人： | 高桥亨;山之内笃史;胜又直也;前田浩辉 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 徐雁漪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种感光性层合膜及应用该感光性层合膜形成精密微细空间的方法，该感光性层合膜用于形成精密微细空间的顶板部。该感光性层合膜适合用于有效和廉价地形成各种精密微细空间，尤其是形成于电子部件如喷墨头中的精密微细空间。作为用于形成精密微细空间的顶板部的感光性层合膜采用层合膜，该层合膜提供至少一个感光性组合物层和透明支持层，该感光性层合膜通过被设置在精密微小的凹部上以覆盖上部开口后被固化来构成精密微细空间的顶板部。该透明支持膜支撑该感光性组合物层和防止该感光性组合物层在固化时变形。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 精密 微细 空间 顶板 感光性 层合膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于形成精密微细空间的精密微细空间形成方法，该精密微细空间由通过固化树脂组合物层形成的顶板部和由顶板部覆盖的精密微小凹部构成，所述方法包括如下步骤：在透明支持膜上层压至少一层感光性组合物层以形成感光性层合膜；设置感光性层合膜的所述感光性组合物层以覆盖所述精密微小凹部；在不剥离支撑该感光性组合物层的支持膜的条件下通过该支持膜对该感光性组合物层进行曝光；用热处理使曝光的树脂感光性组合物层固化；从该树脂组合物层剥离该支持膜后用另外的热处理对固化的树脂组合物层进行主固化。
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