[发明专利]拉伸孔眼掩模和安装的方法有效
| 申请号： | 200680000641.0 | 申请日： | 2006-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN101547749A | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·A·马尔卡尼奥;杰弗里·W·康拉德 | 申请（专利权）人： | 阿德文泰克全球有限公司 |
| 主分类号： | B05D1/32 | 分类号： | B05D1/32;B05D5/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 田军锋;王爱华 |
| 地址： | 英属维尔京*** | 国省代码： | 维尔京群岛;VG |
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| 摘要： | 一种准备和使用孔眼掩模的方法，将孔眼掩模的温度升高到第一安装温度(T1)，从而使孔眼掩模的尺寸根据其热膨胀系数(CTEam)增大，直到其至少一个尺寸为第一理想范围。也将框架的温度增加到T1，从而使框架的大小根据其低于CTEam的热膨胀系数(CTEf)长大。在温度T1将孔眼掩模固定安装在框架上。随后安装有框架的孔眼掩模用于在低于T1的温度T2下将材料沉积到基底上，因此框架将影孔掩模保持为拉伸，有一个尺寸在第二理想范围。 | ||
| 搜索关键词： | 拉伸 孔眼 安装 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种准备和使用孔眼掩模的方法，包括：(a)使孔眼掩模的温度升高到第一安装温度(T1)，从而使孔眼掩模的尺寸根据其热膨胀系数(CTEam)增大，直到其至少一个尺寸为理想的范围；(b)将框架的温度升高到T1，从而使框架的大小根据其低于CTEam的热膨胀系数(CTEf)长大；(c)在温度T1将孔眼掩模固定安装在框架上；以及(d)使得安装有框架的孔眼掩模的温度从T1降低，因此CTEf和CTEam之间的差别使得框架在多于一个的尺寸上保持孔眼掩模被拉伸，并且不会使孔眼掩模变形。
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