[发明专利]卷取式真空成膜装置

摘要

本发明提供一种卷取式真空成膜装置，该卷取式真空成膜装置能够抑制绝缘性的原料薄膜的热变形，以高速成膜金属膜，谋求提高生产性，进而，能够提高薄膜的除电效果。其中，具有电子束照射器(21)、辅助辊(18)、直流偏压电源(22)、除电单元(23)，该电子束照射器(21)被配置在卷放辊(13)和蒸发源(16)之间，向原料薄膜(12)照射荷电粒子；该辅助辊(18)被配置在冷却用筒式辊(14)和卷取辊(15)之间，并与原料薄膜(12)的成膜面接触，对该原料薄膜(12)的行进进行引导；该直流偏压电源(22)对筒式辊(14)和辅助辊(18)之间施加直流电压；该除电单元(23)配置在筒式辊(14)和卷取辊(15)之间，对原料薄膜(12)进行除电，该除电单元(23)由一方的电极接地的直流二极放电型等离子发生源构成。

主权项

1.一种卷取式真空成膜装置，该装置具有真空腔、卷放部、卷取部、冷却用辊、成膜构件，该卷放部配置在该真空腔的内部，连续地放出绝缘性的原料薄膜；该卷取部卷取从该卷放部放出的原料薄膜；该冷却用辊配置在上述卷放部和上述卷取部之间，与上述原料薄膜紧密接触，对该薄膜进行冷却；该成膜构件与上述冷却用辊相对配置，在上述原料薄膜上成膜金属膜，其特征在于，具有：配置在上述冷却用辊和上述卷取部之间，并与上述原料薄膜的成膜面接触，对该原料薄膜的行进进行引导的辅助辊；对上述冷却用辊和上述辅助辊之间施加直流电压的电压施加构件；配置在上述冷却用辊和上述卷取部之间，对上述原料薄膜进行除电的除电构件，上述除电构件是一方的电极接地的直流二极放电型等离子发生源。