[发明专利]扭转谐振器和采用其的滤波器有效

专利信息
申请号: 200680000095.0 申请日: 2006-01-13
公开(公告)号: CN1943110A 公开(公告)日: 2007-04-04
发明(设计)人: 中村邦彦;川胜英树 申请(专利权)人: 松下电器产业株式会社;国立大学法人东京大学
主分类号: H03H9/24 分类号: H03H9/24;H01L29/84;B81B3/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种没有桨叶的,并且能够有效振荡的高频扭转振荡器。所述扭转振荡器具有没有桨叶的横截面恒等的梁结构,并且具有经由缝隙贴近所述梁结构的侧表面设置的电极。二者之间的静电电容使得每单位扭转振荡量下的静电电容变化率最大,并且通过调整使得每单位AC电压下的静电电容变化率最大。在采用半导体工艺时,通过控制电极的厚度使这一调整变为可能。此外,所述振荡器采用单晶硅,并采用各向异性蚀刻制作梁形状,由此制造出具有良好的表面属性和高Q值的精密振荡器。
搜索关键词: 扭转 谐振器 采用 滤波器
【主权项】:
1.一种起着机电谐振器作用的扭转谐振器,其包括用于执行机械振动的振动器和设置在所述振动器附近的电极,其中,构造所述振动器,使其根据所述振动器和所述电极之间的电压变化产生机械振动,使所述电压和所述机械振动之间的机电转换成为可能,其中以梁结构配置所述振动器,其围绕沿所述梁纵向的转轴执行扭转振动,并且在所述梁结构的振动器的侧表面上经由缝隙设置所述电极,从而在所述振动器和所述电极之间形成静电电容。
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