[实用新型]一种打胶自动设备的偏移监控装置无效
| 申请号： | 200620175010.X | 申请日： | 2006-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN201023088Y | 公开（公告）日： | 2008-02-20 |
| 发明（设计）人： | 闫世博 | 申请（专利权）人： | 和舰科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C5/02;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 薛平 |
| 地址： | 215123江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种半导体制造工艺中常用的打胶自动设备的偏移监控装置，包括：自动叶片、腔室，该腔室具有一开口，其中，上述自动叶片具有至少一个贯穿该自动叶片的孔洞，上述腔室设有一传感器，当该自动叶片工作时，上述孔洞与上述传感器的位置相对应。本实用新型提出的自动设备的偏移监控装置主要应用于GaSonic公司的打胶自动设备，能够在自动叶片位置发生偏移时，该传感器可以立即发出信号，使设备工作更精确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 设备 偏移 监控 装置 | ||
【主权项】：
1.一种打胶自动设备的偏移监控装置，包括：自动叶片、腔室，其特征在于，上述自动叶片具有至少一个贯穿该自动叶片的孔洞，上述腔室设有一传感器，当该自动叶片工作时，上述传感器与上述孔洞位置相对应以检测该自动叶片的位置。
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