[实用新型]一种无可动部件的微阀

摘要

本实用新型涉及一种无可动部件的微阀，属于微机电系统领域。包括有入口通道(1)、弯通道、扩散通道(6)，其中，入口通道(1)为直通道，在入口通道的尾部，即分岔口(3)处出现分流，一个是继续向前延伸的直通道，另一个是带扩散的弯通道，弯通道包括弯通道入口(10)和半圆环通道(2)，弯通道通过弯通道入口(10)与直通道连通，弯通道入口(10)通过半圆环通道(2)与扩散通道(6)连通，分流后的直通道在汇流口(4)处与扩散通道(6)连通。本实用新型实现了一定程度的单向流动，不需要可动阀，只需用表面加工即可，大大减少了制作难度和成本。

主权项

1、一种无可动部件的微阀，其特征在于：主要包括有入口通道(1)、弯通道、扩散通道(6)，其中，入口通道(1)为直通道，在入口通道的尾部，即分岔口(3)处出现分流，一个是继续向前延伸的直通道，另一个是带扩散的弯通道，弯通道包括弯通道入口(10)和半圆环通道(2)，弯通道通过弯通道入口(10)与直通道连通，弯通道入口(10)通过半圆环通道(2)与扩散通道(6)连通，分流后的直通道在汇流口(4)处与扩散通道(6)连通；半圆环通道(2)与扩散通道(6)的连接处的过半圆环通道(2)圆心的直线与入口通道(1)的轴线所成的角度α的取值范围为40°～60°；假设入口通道(1)的宽度为w，与入口通道(1)连通的弯通道入口处的宽度取为2.5w；以入口通道(1)的下端点O为坐标原点，以入口通道(1)的方向为横轴方向，以与入口方向垂直的方向为纵轴方向，则半圆环通道(2)的原点的坐标为(L+r，R+a)，a的范围为w/2～w。