[实用新型]硅片清洗篮的同步夹持机械手无效

专利信息
申请号: 200620148205.5 申请日: 2006-10-31
公开(公告)号: CN200967199Y 公开(公告)日: 2007-10-31
发明(设计)人: 盛金龙;杜飞龙;王锐廷;王晨;边宝孝 申请(专利权)人: 北京七星华创电子股份有限公司
主分类号: B25J1/06 分类号: B25J1/06;B25J15/00
代理公司: 北京中宸联合知识产权代理有限公司 代理人: 刘兰英
地址: 100016*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型涉及一种用于太阳能硅片清洗篮的同步夹持机械手,该机械手包括有同步爪、转杆、导向斜块、导向轴、固定块、作用汽缸和支撑外壳,所述同步爪固定在转杆的两端,所述转杆设置在支撑外壳上,所述固定块一端与转杆固定连接,另一端上设有爬升滚轮,该爬升滚轮与导向斜块滚动接触;所述导向轴两端固定在支撑外壳上,导向斜块套设在导向轴上;所述作用汽缸固定在支撑外壳上,该作用汽缸的伸缩轴与导向斜块连接。本实用新型从内部夹持清洗篮,使得清洗槽的尺寸小巧,清洗液的使用量也减低,设备结构也变得合理、经济;八只抓手同时动作,一次可抓取两只清洗篮,清洗效率较高,满足规模化生产的要求。
搜索关键词: 硅片 清洗 同步 夹持 机械手
【主权项】:
1、一种硅片清洗篮的同步夹持机械手,其特征在于:该机械手包括有同步爪(1)、转杆(2)、导向斜块(3)、导向轴(4)、固定块(9)、作用汽缸(6)和支撑外壳(8),所述同步爪(1)固定在转杆(2)的两端,所述转杆(2)设置在支撑外壳(8)上,所述固定块(9)一端与转杆(2)固定连接,另一端上设有爬升滚轮(5),该爬升滚轮(5)与导向斜块(3)滚动接触;所述导向轴(4)两端固定在支撑外壳(8)上,导向斜块(3)套设在导向轴(4)上;所述作用汽缸(6)固定在支撑外壳(8)上,该作用汽缸(6)的伸缩轴与导向斜块(3)连接。
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