[实用新型]一种钎焊结合装置

摘要

一种钎焊结合装置，包括上支架和下支架，其特征在于：所述下支架上设置有加热平板，在加热平板下端面固定有冷却箱，冷却箱的一端设有进水管，另一端设有出水管，所述上支架固定有气缸基座，在气缸基座上固定有气缸，所述气缸的位于活塞两侧的两个气室分别连通到两根上、下气管，气缸活塞连接有顶杆，所述顶杆的另一端穿过气缸基座和上支架并连接有压头。与现有技术相比，本实用新型的优点在于通过加热平板内部的加热管把靶材组件加热到较高温度，提高靶材组件之间钎料的流动性能，从而提高最终的焊接结合率，并且通过紧贴于加热平板下端面的冷却箱迅速冷却被加热到高温的组件，严格控制该高温状态的时间，防止因再结晶而影响靶材的溅射性能。

主权项

1.一种钎焊结合装置，其包括上、下叠置的上支架(1)和下支架(2)，其特征在于：所述下支架(2)上设置有加热平板(3)，在加热平板(3)下端面固定有冷却箱(4)，冷却箱(4)的一端设有进水管(41)，另一端设有出水管(44)，所述上支架(1)固定有气缸基座(51)，在气缸基座(51)上固定有气缸(5)，所述气缸(5)的位于活塞两侧的两个气室分别连通到两根上、下气管(52)和(53)，气缸活塞连接有顶杆(7)，所述顶杆(7)的另一端穿过气缸基座(51)和上支架(1)并连接有压头(8)。