[实用新型]带有行程限位机构的显微镜

摘要

本实用新型提供一种带有行程限位机构的显微镜，包括载物台[3]、目镜[1]、底座[6]、钝角折形挡板[8]和条形连接块[9]，钝角折形挡板[8]呈“”形，条形连接块[9]固定在底座[6]上，挡板[8]的倾斜段开有导槽，以可活动连接方式安装在条形连接块[9]上。挡板[8]的上下位置可以调节，根据具体显微镜载物台的行程限位要求，设定好挡板8的位置后，通过锁紧螺栓将挡板的倾斜段与条形连接块[9]相固定，挡板水平段的下表面与载物台[3]的上表面相对。这样，通过增设挡板组合件对显微镜载物台的行程进行限位，可有效防止观察晶圆图形时刮伤晶圆。

主权项

1.带有行程限位机构的显微镜，包括载物台、目镜和底座，其特征在于：该显微镜设有对载物台的上下行程起限位作用的机构，所述限位机构包括一块挡板[8]，挡板[8]的形状呈钝角折形，钝角折形的倾斜段与底座连接，水平段高于显微镜载物台，水平段的下表面与载物台的上表面相对。