[实用新型]用于非晶硅薄膜太阳电池制作的PECVD装置

摘要

本实用新型公开了一种用于非晶硅薄膜太阳电池制作的PECVD装置，其特征是真空室是由结构件和保温件组成的外壳体、电加热板、散热板及轨道车组成的密闭长立方体，盒式反应器是由盖板、可加工陶瓷绝缘块、微孔式电极板组成的气腔与阻尼喷嘴及电极板组成的反应腔构成，盒式反应器内设有玻璃基片，轨道车上设有若干盒式反应器，在辉光放电及一定温度的条件下，反应气体经过分解反应均匀得在玻璃基片上淀积非晶硅薄膜，所产生废气经过阻尼排气嘴均匀的进入真空室，通过增压泵、机械泵组把废气引入气体反应塔进行尾气处理，本实用新生产的非晶硅薄膜太阳电池，膜层均匀，微观性能一致，操作简单，具有良好的重复性。

主权项

1、一种用于非晶硅薄膜太阳电池制作的PECVD装置，包括真空室、真空获得装置、尾气处理装置及冷却装置，其特征在于真空室是由结构件和保温件组成的外壳体、电加热板、散热板及轨道车组成的密闭长立方体，盒式反应器是由盖板、可加工陶瓷绝缘块、微孔式电极板组成的气腔与阻尼喷嘴及复合式电极板组成的反应腔构成，盒式反应器内设有玻璃基片，轨道车上设有若干盒式反应器。