[实用新型]大行程高精度二维工作台

摘要

大行程高精度二维工作台，其特征是采用复合式磁浮－滑动导轨，设置二维移动工作台的顶部导向面与测量光栅的测量面相重合的结构形式，设置驱动区和工作区二级隔离。本实用新型能同时适应高低速运动、适应高加速度、减小阿贝误差的影响以及能有效隔离拨爪驱动器产生的正压力和振动对工作台的影响。

主权项

1、大行程高精度二维工作台，其特征是：a、采用复合式磁浮-滑动导轨，是在移动件(1)的底部端面与导轨(2)的支承面之间，同性相对地安装底部永久磁铁副(4)，以所述底部永久磁铁副(4)形成的斥力保持移动件(1)的底部端面与导轨(2)的支承面之间处于非接触状态，并在移动件(1)与导轨(2)的顶部导向面(3)之间形成正压力；以所述移动件(1)与导轨(2)的一侧部端面为侧部导向面(5)，在与所述侧部导向面(5)相对的另一侧部端面上，同性相对地安装侧部永久磁铁副(6)，以所述侧部永久磁铁副(6)形成的斥力保持移动件(1)与导轨(2)在该侧部端面处于非接触状态，并在侧部导向面(5)上形成正压力，测量光栅固定设置在移动件(1)上；b、设置二维移动工作台的顶部导向面与测量光栅(9)的测量面(14)相重合的结构形式，所述二维移动工作台，包括固定设置的外盒(7)、以外盒(7)为导轨沿一维方向移动的内盒(8)，所述移动件(1)是以内盒(8)为导轨，并沿其另一一维方向上移动，测量光栅(9)固定设置在所述移动件(1)上；所述测量光栅(9)的测量面(14)、移动件(1)与内盒(8)之间顶部导向面，以及内盒(8)与外盒(7)之间的顶部导向面三者处在同一个平面上；c、设置驱动区和工作区二级隔离，所述二级隔离包括驱动台(10)与二维移动工作台相互隔离，设置在驱动台(10)上的拔爪式驱动器(11)通过推杆(12)与二维移动工作台联动，在所述推杆(12)与工作台之间设置柔性铰链(13)。