[实用新型]生长砷化镓单晶的温控炉

摘要

生长砷化镓单晶的温控炉，属炉子结构和温控技术领域。其特点是炉体不平移，炉腔温度分布场空间分为高温T1区，中温T2区，低温T3区；高温T1区有连续10段组成，从右至左分布；每段与每区均有受计算机控制的独立加热炉丝，独立温度测量和各自反馈控制系统；置有砷和镓的石英舟，放置在高温区段，其结晶端处于与中温区交界的高温T1区末端；温控炉是一个正方形横截面的封闭长方体，由超轻氧化铝保温材料构成炉衬，用不同规格的Fe－Cr－Al高温加热丝，分别独立地缠绕在构成温度场的从第1段直到第12段的间隔框架内；并设有籽晶的观察孔，石英封泡和组颈封泡；由温度传感器从腔体引出。实施本实用新型后不需要传动装置，结构简单，生长单晶质量好，成本降低，是一个对现有技术很好改进的设计。

主权项

1.生长砷化镓单晶的温控炉，包含炉腔，炉腔加热，温度测量和控温装置，其特征是：炉体不平移，炉腔温度分布场空间分为高温T1区，中温T2区，低温T3区；高温T1区有连续10段组成；从右至左分布，分别是第10段，第9段，第8段......第2段，和第1段；第11段是中温区T2；第12段是低温区T3；每段与每区均有受计算机控制的独立加热炉丝，独立温度测量和各自反馈控制系统；置有砷和镓的石英舟放置在高温区段，其结晶端处于与中温区交界的高温T1区末端；温控炉是一个正方形横截面的封闭长方体(1)，分别由超轻高温氧化铝保温材料(2)和低温氧化铝保温材料(14)构成炉衬；按不同的温升要求，采用不同规格的Fe-Cr-Al高温加热丝，分别独立地缠绕在构成温度场的从第1段直到第12段的间隔框架内；在T1末端接近T2部位设有籽晶的观察孔(9)；石英反应管(6)安置在炉腔内的垫片(4)上，在石英舟(7)内的砷化镓XX熔体(8)，处在由高温炉管炉丝(3)缠绕的高温区T1空间，籽晶端(10)处于接近中温区的高温区T1第10段；砷(12)处在由低温炉管炉丝(13)缠绕的低温区第12段空间内，反应管内设置石英封泡(5)和组颈封泡(11)；并有温度传感器(15)从腔体引出。