[实用新型]微位移动装置

摘要

微位移动装置，包括移动模块和两个压电陶瓷。所述移动模块包括X方向杠杆、X方向弹性变形区、移动件固定台以及Y方向移动区，Y方向移动区包括Y方向杠杆、Y方向弹性变形区。X方向压电陶瓷一端接触预紧螺钉，另一端与X方向杠杆的驱动作用点接触，X方向杠杆的输出作用点与X方向弹性变形区一体连接；在X方向弹性变形区内切割出Y方向容置槽、Y方向移动区及移动件固定台。Y方向压电陶瓷嵌在Y方向容置槽中，一端接触Y方向预紧垫片，另一端则接触Y方向杠杆驱动作用点。Y方向输出作用点与Y方向弹性变形区一侧一体连接，移动件固定台位于后者中间。本装置实现二维位移体积小，精度高，可减少多工件装配之误差。

主权项

1、一种微位移动装置，包括移动模块、X方向压电陶瓷、X方向预紧螺钉、Y方向压电陶瓷、Y方向预紧垫片，其特征在于：所述的移动模块是由弹性材料一体切割而成，所述移动模块包括X方向容置槽、X方向杠杆、X方向弹性变形区、移动件固定台及Y方向移动区，Y方向容置槽，所述Y方向移动区包括Y方向杠杆、Y方向弹性变形区；所述X方向压电陶瓷位于X方向容置槽中，其顶端与凸伸入X方向容置槽的X方向预紧螺钉接触，另一端与X方向杠杆的驱动作用点接触，X方向杠杆的输出作用点与所述X方向弹性变形区一体连接；在X方向弹性变形区内切割出Y方向容置槽、Y方向移动区及移动件固定台，Y方向压电陶瓷嵌在Y方向容置槽中，其一端与Y方向预紧垫片接触，另一端则与Y方向杠杆的驱动作用点接触，Y方向弹性变形区一侧与Y方向杠杆的输出作用点一体连接，而移动件固定台切割于弹性变形区中间，且沿Y轴上下两边与弹性变形区一体连接。