[实用新型]一种对微光学部件定位的结构

摘要

本实用新型涉及一种对微光学部件定位的结构，结构包括支撑体，微反射镜芯片坑，V形槽，入射、出射微光学部件，衬底，微通道阵列和盖板组成，本实用新型中微通道模块制备的材料可以采用SU－8光刻胶，PMMA或单晶硅，使微通道阵列的高度和宽度与微反射镜的尺寸相匹配，将入射微光学部件输出的光束分别通过相应的微通道阵列由出射微光学部件接收，由于采用精度和位置精度很高的微通道阵列，利用微通道阵列之间的平行和垂直关系，保证微光学部件精确对准和光束共面。采用本实用新型定位结构减少了微反射镜的损伤，减少微反射镜缺陷影响微光学部件精确定位的问题，同时使微光学部件光轴共面的问题得以解决，本实用新型还可用于其它需要定位的场合。

主权项

1、一种对微光学部件定位的结构，它包括支撑体(1)，微反射镜芯片坑(2)，V形槽(3)，入射微光学部件(4)、出射微光学部件(5)、出射微光学部件(6)，其特征在于：还包括微通道模块，微通道模块由衬底(7)、微通道阵列(8)、微通道阵列(9)和盖板(10)组成，衬底(7)下表面位于微反射镜芯片坑(2)的上表面，微通道阵列(8)、微通道阵列(9)高度和宽度与微反射镜芯片坑(2)上的微反射镜高度和宽度相匹配，微通道阵列(8)、微通道阵列(9)的间距与入射微光学部件(5)和出射微光学部件(6)的间距相同，相互垂直的微通道阵列(8)、微通道阵列(9)分别与入射微光学部件(5)和出射微光学部件(6)垂直和或平行，入射微光学部件(5)的输出面和出射微光学部件(6)的接收面分别与微通道阵列(8)、微通道阵列(9)的端面相对应放置，使入射微光学部件(5)输出的光束分别通过相对应的微通道阵列(8)、微通道阵列(9)并由相对应的出射微光学部件(6)接收，盖板(10)位于微通道阵列(8)和微通道阵列(9)的正上方并与之接触。