[实用新型]发热体的保持构造体、绝缘构造体、加热装置无效
| 申请号： | 200620006676.2 | 申请日： | 2006-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN2917150Y | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 村田等;杉浦忍;小杉哲也 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立国际电气 |
| 主分类号： | H05B1/00 | 分类号： | H05B1/00;H05B3/06;H05B3/42;H01L21/00;H05K3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种发热体的保持构造体，防止发热体的一对供电部彼此的短路及熔接。在具备使用隔热材料形成为圆筒形状的隔热块(36)和一对供电部(45、46)的发热体(42)、将发热体(42)铺设在隔热块(36)的安装槽(40)的内周侧上的加热器单元(30)中，通过外侧绝缘子(52)及内侧绝缘子(55)保持发热体(42)的一对供电部(45、46)，并且在内侧绝缘子(55)的两个供电部(45、46)之间设置隔壁部(58)。即使在发热体(42)因热膨胀或随时间变化而伸长的情况下，也能够通过隔壁部(58)防止一对供电部(45、46)彼此接触，所以能够将发热体的短路及熔接防止于未然。 | ||
| 搜索关键词： | 发热 保持 构造 绝缘 加热 装置 | ||
【主权项】：
1、一种发热体的保持构造体，用于基板处理装置，其特征在于，具有：隔热壁体，形成为圆筒形状；发热体，具有沿着该隔热壁体的内周侧设置成圆筒状的圆筒部、和贯通上述隔热壁体地设在该圆筒部的端部的一对供电部；绝缘子，至少其一部分设在上述一对供电部之间，并且另一部分设置成越过上述圆筒部的内周面而到达圆筒部的内侧。
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