[实用新型]一种避免钨坩埚体和盖在高温下粘结的组件无效

专利信息
申请号: 200620006548.8 申请日: 2006-02-23
公开(公告)号: CN2886482Y 公开(公告)日: 2007-04-04
发明(设计)人: 武红磊;郑瑞生;鲁枫;孙秀明 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: F27B14/10 分类号: F27B14/10
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518060广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种避免钨坩埚体和盖在高温下粘结的组件。为了解决用高温气相法制备金属氮化物晶体材料时钨坩埚体和盖的粘结问题,本实用新型通过在钨坩埚体和盖之间放置合适大小的石墨环,在高温条件下石墨环将和其相接触的钨坩埚体和盖的表面发生碳化反应,形成碳化钨保护薄膜。以后使用此坩埚制备氮化物晶体材料时,可在温度不大于2300℃范围内避免坩埚体和盖的粘结,提高坩埚的使用寿命。
搜索关键词: 一种 避免 坩埚 高温 粘结 组件
【主权项】:
1、一种避免钨坩埚体和盖在高温下粘结的组件,由钨坩埚盖[1]、石墨环[2]、钨坩埚体[3]组成,其特征在于石墨环放在坩埚体和坩埚盖之间,并且三者的中心一致。
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