[实用新型]一种设有防漏装置的真空镀膜机无效
申请号: | 200620004666.5 | 申请日: | 2006-04-05 |
公开(公告)号: | CN2908529Y | 公开(公告)日: | 2007-06-06 |
发明(设计)人: | 刘镒诚 | 申请(专利权)人: | 建铯科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王燕秋 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种设有防漏装置的真空镀膜机,其包含有:一真空腔,真空腔的内室形成有镀膜区,镀膜区由若干隔板区隔出多个镀膜空间;一收发料机构,设于真空镀膜机的滑轨上,真空腔内室的上方设有供收发料机构滑移时导正的滑轨,收发料机构设有隔舱密封组,隔舱密封组的隔板对应真空腔隔板设置,当收发料机构送入至真空腔内室时,隔板区隔形成若干隔舱;隔舱密封组隔板二侧面固设有高出隔板的板片,其间形成嵌槽,嵌槽中组设有O型环,O型环为立体且内部设贯通的充气空间,外周设有充气嘴连通至充气空间,嵌槽中还嵌入真空腔隔板,O型环充气膨胀,密封二隔板间的缝隙,让各隔舱确实分隔密封。本实用新型具有极佳的防漏密封功效。 | ||
搜索关键词: | 一种 设有 防漏 装置 真空镀膜 | ||
【主权项】:
权利要求书1、一种设有防漏装置的真空镀膜机,其特征在于包含有:一真空腔,所述真空腔的内室形成有镀膜区,所述镀膜区由若干隔板区隔出多个镀膜空间;一收发料机构,设于所述真空镀膜机的滑轨上,所述真空腔内室的上方设有供收发料机构滑移时导正的滑轨,所述收发料机构设有隔舱密封组,所述隔舱密封组的隔板对应所述真空腔隔板设置,当所述收发料机构送入至所述真空腔内室时,所述隔板区隔形成若干隔舱;所述隔舱密封组隔板二侧面固设有高出隔板的板片,其间形成嵌槽,所述嵌槽中组设有O型环,所述O型环为立体且内部设贯通的充气空间,外周设有充气嘴连通至所述充气空间,所述嵌槽中还嵌入所述真空腔隔板,所述O型环充气膨胀,密封所述二隔板间的缝隙,让所述各隔舱确实分隔密封。
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