[实用新型]用磁性方式固定的保持环无效
| 申请号： | 200620001026.9 | 申请日： | 2006-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN2868552Y | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 腾明魁;拉尔夫·M·瓦德恩斯维尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带有底部分的保持环，所述底部分可以从环的上部拆下。保持环的上部和下部包括一个或多个磁性体和/或由可吸引到磁体的材料所形成的一个或多个部分。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 方式 固定 保持 | ||
【主权项】：
1.一种保持环，包括：基本环形的上部，所述上部具有配置为附接到载具头的上表面；以及基本环形的下部，所述下部具有配置为与所述上部的下表面接触的上表面；其中所述上部和下部中至少一个包括磁性材料；并且所述上部和下部中另一个包括可吸引到所述磁性材料的材料。
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