[发明专利]适合于酸生成剂的盐和含有该盐的化学放大型抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供式(I)的盐，其中X表示亚烷基或取代的亚烷基；Q¹和Q²各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A⁺表示有机抗衡离子；并且n表示0或1。本发明还提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含所述式(I)的盐和树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。

主权项

1.一种式(I)的盐：其中X表示亚烷基或取代的亚烷基，其中除了连接到相邻的-COO-的-CH₂-之外的-CH₂-被-S-或-O-取代；Y表示含有至少一个芳族环并且含有5至30个碳原子的烃环基团，其中烃环上的一个或多个-CH₂-任选被-O-或-CO-取代，并且其中烃环上的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷基、含有1至6个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基、含有1至6个碳原子的羟基烷基、羟基或氰基取代；Q¹和Q²各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A⁺表示有机抗衡离子；并且n为0或1。