[发明专利]一种光子晶体可调谐滤波器及其制作方法无效
| 申请号： | 200610171665.4 | 申请日： | 2006-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN101210979A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 唐海侠;左玉华;余金中;王启明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/42;G02F1/01;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及热光调谐滤波器技术领域，公开了一种光子晶体可调谐滤波器，该光子晶体可调谐滤波器由在绝缘层上硅(SOI)衬底上依次生长的下反射镜、间隔层和上反射镜，以及贯穿上反射镜、间隔层、下反射镜和SOI衬底顶层硅的空气孔构成。本发明同时公开了一种光子晶体可调谐滤波器的制作方法。利用本发明，减小了传统的薄膜电阻加热带来的薄膜温度不均匀性、以及衍射损耗导致的输入光斑最小尺寸的限制，降低了可调谐滤波器的损耗和功耗，提高了可调谐滤波器的调谐速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光子 晶体 调谐 滤波器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种光子晶体可调谐滤波器，其特征在于，该光子晶体可调谐滤波器由在绝缘层上硅SOI衬底上依次生长的下反射镜、间隔层和上反射镜，以及贯穿上反射镜、间隔层、下反射镜和SOI衬底顶层硅的空气孔构成。
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