[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法

摘要

一种基板处理装置及基板处理方法，防止在使被液体浸湿的基板表面干燥时在基板表面所形成图案产生破坏，良好地干燥基板表面。邻近挡块(3)的对置面(31)相对基板表面(Wf)邻近配置，在对置面(31)和基板表面(Wf)所夹持的间隙空间(SP)形成液封层(23)的状态下，邻近构件(3)向移动方向(－X)移动，同时向液封层(23)的上游侧端部(231)供给含有溶解在液体且使表面张力降低的溶剂成分的溶剂气体。进而，在液封层(23)的上游侧界面(231a)或相比该上游侧界面(231a)而在移动方向的下游侧(－X)，向基板表面(Wf)供给液体，将附着于基板表面(Wf)的冲洗液(液体)置换为所追加供给的新的液体。

主权项

1.一种基板处理装置，其使被液体浸湿的基板表面干燥，其特征在于，具有：邻近构件，其具有与上述基板表面对置的对置面，在该对置面从上述基板表面被分离配置的同时，在该对置面和上述基板表面所夹持的间隙空间中充满上述液体而形成液封层的状态下，相对于上述基板在规定的移动方向上能够相对自由移动；驱动装置，其使上述邻近构件相对于上述基板在上述移动方向上相对移动；溶剂气体供给装置，其向在上述移动方向上游侧的上述液封层的端部供给溶剂气体，该溶剂气体必须含有溶解在上述液体中且使表面张力降低的溶剂成分；液体供给装置，其在上述液封层的上游侧界面或者相比该上游侧界面而在上述移动方向的下游侧，向上述基板表面供给上述液体，而将附着于上述基板表面的液体置换为所供给的液体。