[发明专利]切割基板的方法和使用其的基板切割设备有效
| 申请号： | 200610171207.0 | 申请日： | 2006-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101046571A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 朴明一;金京燮;李庸懿;李东振 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;B23K26/00;B23K26/36 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基板切割方法和基板切割设备，通过照射具有不同波长的至少两个激光束到基板顶表面和底表面来切割基板。基板切割方法包括制备具有薄膜晶体管(TFT)母基板和滤色器母基板的母基板组件；同时聚焦至少两个激光束到位于母基板表面的垂线上的彼此分开的至少两个不同位置；和通过该至少两个不同的聚焦位置切割母基板组件。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 方法 使用 设备 | ||
【主权项】：
1、一种基板切割方法，包括：制备母基板组件，其具有薄膜晶体管母基板和滤色器母基板；同时聚焦至少两个激光束到彼此分开的至少两个不同的聚焦位置，所述至少两个不同的聚焦位置位于相对于所述母基板表面的垂线上；和通过所述至少两个不同的聚焦位置切割所述母基板组件。
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