[发明专利]平面载物台装置有效
| 申请号： | 200610170146.6 | 申请日： | 2006-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN1987661A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 田中米太 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H02K41/02;G12B5/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种平面载物台装置，不使用重的定盘，也可以使平面载物台表面保持高精度的平面，装置重量轻，且制作成本也便宜。由支承构件(10)在3处以上支承载置工件用的平面板(1)。并且，设置将此平面板(1)沿XY轴方向移动的驱动机构。上述支承构件(10)具备与平面板(1)相对置配置的空气轴承，通过该支承构件(10)使上述平面板(1)浮起，并且，用任意的推力使平面板(1)沿与该平面板(1)的平面相垂直的方向位移。而且，使平面板的位移状态保持被选择的位移状态，使上述平面板的载置工件的面保持水平且平面。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 载物台 装置 | ||
【主权项】：
1、一种平面载物台装置，具备：载置工件的平面板、及在3处以上支承该平面板的支承构件、及使上述平面板至少与该平面平行地移动的移动机构，其特征在于：在上述支承构件上设有与平面板相对置配置的空气轴承，上述支承构件由任意的推力使上述平面板在与该平面板的平面垂直的方向上位移，并且保持被选择的位移状态。
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