[发明专利]面内切换型液晶显示装置用阵列基板的制造方法

摘要

本发明提供了一种面内切换型液晶显示装置用阵列基板的制造方法，该制造方法包括以下步骤：利用透明材料层和不透明材料层的双层在基板上形成公共电极，该公共电极包括第一透明导电材料；在基板上形成选通线、栅极以及公共线，栅极连接选通线，公共线接触公共电极；在选通线、栅极以及公共线上形成栅绝缘层；以位于栅极上方的方式在栅绝缘层上形成有源层和欧姆接触层；在欧姆接触层上形成源极和漏极，并且形成连接至源极的数据线，源极和漏极彼此隔开；在源极和漏极以及数据线上形成钝化层，钝化层包括暴露漏极的漏极接触孔；以及在钝化层上形成像素电极，像素电极包括第二透明导电材料，并且与公共电极相交替。

主权项

1、一种面内切换型液晶显示装置用阵列基板的制造方法，该制造方法包括以下步骤：公共电极形成步骤，其利用透明材料层和不透明材料层的双层在基板上形成公共电极，所述公共电极包括第一透明导电材料；选通线、栅极以及公共线形成步骤，其在所述基板上形成选通线、栅极以及公共线，所述栅极连接到所述选通线，所述公共线接触所述公共电极；栅绝缘层形成步骤，其在所述选通线、所述栅极以及所述公共线上形成栅绝缘层；有源层和欧姆接触层形成步骤，其以位于所述栅极上方的方式在栅绝缘层上形成有源层和欧姆接触层；源极、漏极以及数据线形成步骤，其在所述欧姆接触层上形成源极和漏极，并且形成连接至所述源极的数据线，所述源极和所述漏极彼此隔开；钝化层形成步骤，其在所述源极和所述漏极以及所述数据线上形成钝化层，所述钝化层包括暴露所述漏极的漏极接触孔；以及像素电极形成步骤，其在所述钝化层上形成像素电极，所述像素电极包括第二透明导电材料，并且与所述公共电极相交替，所述像素电极通过所述漏极接触孔接触所述漏极。