[发明专利]用于测试电试样的电测试设备及相应的方法无效
| 申请号： | 200610168417.4 | 申请日： | 2006-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN1979194A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 贡特尔·伯姆 | 申请（专利权）人： | 费恩金属有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/26;G01R1/02;G01R1/067;G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 德国黑伦贝格*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测试电试样(39)，尤其是晶片(40)的电测试设备(1)，带有设置了用于试样(39)的贴合接触的接触装置(3)，其中设有仅允许径向温度补偿间隙的对中心设备(24)以便于接触装置(3)与测试机(2)彼此间的中心对准。本发明还涉及一种相应的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 试样 设备 相应 方法 | ||
【主权项】：
1、一种测试电试样，尤其是晶片的电测试设备，包括测试机(试验机)，其中采用/可采用用于试样接触的接触装置，其特征在于，设有仅允许径向温度补偿间隙、用于接触装置(3)和测试机(2)相互间的中心对准的对中心设备(24)。
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