[发明专利]膜片式光纤压强传感器无效
| 申请号: | 200610165531.1 | 申请日: | 2006-12-21 |
| 公开(公告)号: | CN101206149A | 公开(公告)日: | 2008-06-25 |
| 发明(设计)人: | 张文涛;李芳;刘育梁 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号: | G01L1/24 | 分类号: | G01L1/24;G01L11/02;G01L19/00 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
| 地址: | 100083北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 一种膜片式光纤压强传感器,其特征在于,包括:一支撑筒,该支撑筒为光纤压强传感器的主体,该支撑筒为一筒状,其下端侧壁的同轴处开有一圆孔;一膜片,该膜片位于支撑筒的底部,以封闭支撑筒的下端;一光纤光栅,该光纤光栅固定在膜片的上面,该光纤光栅的尾纤穿过支撑筒侧壁上的圆孔;一端盖,该端盖盖合于支撑筒的上面;一温度补偿光纤光栅,该温度补偿光纤光栅固定在端盖的下面,该温度补偿光纤光栅的尾纤穿过支撑筒侧壁上的一圆孔。 | ||
| 搜索关键词: | 膜片 光纤 压强 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种膜片式光纤压强传感器,其特征在于,包括:一支撑筒,该支撑筒为光纤压强传感器的主体,该支撑筒为一筒状,其下端侧壁的同轴处开有一圆孔;一膜片,该膜片位于支撑筒的底部,以封闭支撑筒的下端;一光纤光栅,该光纤光栅固定在膜片的上面,该光纤光栅的尾纤穿过支撑筒侧壁上的圆孔;一端盖,该端盖盖合于支撑筒的上面;一温度补偿光纤光栅,该温度补偿光纤光栅固定在端盖的下面,该温度补偿光纤光栅的尾纤穿过支撑筒侧壁上的一圆孔。
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