[发明专利]一种消除双作用气缸换向抖动的控制装置有效

专利信息
申请号: 200610165298.7 申请日: 2006-12-15
公开(公告)号: CN101201074A 公开(公告)日: 2008-06-18
发明(设计)人: 王志升 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: F15B21/00 分类号: F15B21/00;F15B13/044;F15B15/26;H01L21/306
代理公司: 北京凯特来知识产权代理有限公司 代理人: 赵镇勇;郭宗胜
地址: 100016北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种消除双作用气缸换向抖动的控制装置,连接于双作用气缸的两进气端控制其运动,控制装置包括:换向阀、双向调速阀与节流阀,换向阀的进口接气源,换向阀的一个出口通过双向调速阀接双作用气缸的一个进气端,换向阀的另一个出口通过节流阀接双作用气缸的另一个进气端。另外,控制装置中还包括检测单元与自动控制单元,用于检测双作用气缸运行情况,进而控制双作用气缸的工作。通过该控制装置可以消除气缸启动时活塞杆的“急速伸出”现象,也就是消除双作用气缸的换向时的“抖动”现象。提高双作用气缸稳定性与可靠性,同时不影响双作用气缸的运行时间要求。
搜索关键词: 一种 消除 作用 气缸 换向 抖动 控制 装置
【主权项】:
1.一种消除双作用气缸换向抖动的控制装置,连接于双作用气缸的两进气端控制其运动,其特征在于,所述的控制装置包括:换向阀、双向调速阀与节流阀,换向阀的进口接气源,换向阀的一个出口通过双向调速阀接双作用气缸的一个进气端,换向阀的另一个出口通过节流阀接双作用气缸的另一个进气端。
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