[发明专利]一种掺杂锗的定向凝固铸造多晶硅有效
| 申请号: | 200610154949.2 | 申请日: | 2006-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN1995487A | 公开(公告)日: | 2007-07-11 |
| 发明(设计)人: | 杨德仁;朱鑫;汪雷;席珍强;阙端麟 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
| 主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人: | 韩介梅 |
| 地址: | 310027浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本发明公开的掺杂锗的定向凝固铸造多晶硅,含有浓度为1×1015~1×1017/cm3的磷或硼,其特征是还含有浓度为1×1016~1×1019/cm3的锗。本发明利用锗能够钉杂硅中位错提高机械强度的性质,在原来掺磷或硼铸造多晶硅的基础上掺入一定量的锗,既不影响铸造多晶硅的电学性能,而且可以增强铸造多晶硅的机械强度,这种硅片用于太阳能电池,可采用更薄的硅片,从而大幅降低成本。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 掺杂 定向 凝固 铸造 多晶 | ||
【主权项】:
1.一种掺杂锗的定向凝固铸造多晶硅,含有浓度为1×1015~1×1017/cm3 的磷或硼,其特征是还含有浓度为1×1016~1×1019/cm3的锗。
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