[发明专利]一种介电常数可调的锌掺杂PST薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200610154725.1 | 申请日： | 2006-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1974461A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 杜丕一;郑赞;宋晨路;翁文剑;韩高荣;赵高凌;沈鸽;徐刚;张溪文 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22;H01P1/18 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种介电常数可调的锌掺杂PST薄膜及其制备方法。制备方法：以碳酸锶、醋酸铅、醋酸锌和钛酸丁酯为原料，冰醋酸和乙二醇甲醚为溶剂配制溶胶先驱体。以浸渍提拉法或者旋涂匀胶法在ITO导电玻璃、硅片和普通玻璃基板上涂覆溶胶，采用快速升温、控制冷却的热处理工艺进行烧结。本发明工艺简单，成本低；低的烧结温度(600℃)可以在耐高温性能较差的基板上制备薄膜，与半导体集成工艺兼容。而且可以防止铅的挥发，既节约了原料又防止污染。用sol－gel快速升温、控制冷却的热处理工艺制备得到锌掺杂PST薄膜有高的介电可调性(掺杂PST薄膜的可调性相对未掺杂的PST薄膜提高了1倍多)，相对较低的介电损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 介电常数 可调 掺杂 pst 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种介电常数可调的锌掺杂PST薄膜，其特征在于：它是以Zn作为杂质掺入Pb0.4Sr0.6TiO3基体的薄膜材料，表达式为：Pb0.4Sr0.6Ti1-xZnxO3+x，其中Zn的摩尔百分含量为1％～12％，即1％≤x≤12％。
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