[发明专利]缺陷检查装置和缺陷检查方法无效
| 申请号： | 200610154371.0 | 申请日： | 2006-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1940540A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 山口升;石川雄大 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;H01L21/66;H01L21/027;G01R31/26;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 孙纪泉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于检查具有重复图案的被检查目标的不规则缺陷检查装置，以检测在重复图案中出现的不规则缺陷，所述重复图案包括在其表面上规则设置的单元图案。该装置包括光源装置，所述光源装置具有光源，所述光源用于将光以期望的入射角施加至包括被检查目标的检查区域在内的区域；以及观察装置，所述观察装置具有光接收光学系统，所述光接收光学系统用于在所述光源装置施加光时，接收从与其垂直的被检查目标的检查表面产生的光。该光源装置光源，该光源设有具有2度或更小的平行度、以及300000Lx或更高的亮度。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于检查具有重复图案的被检查目标的缺陷检查装置，以检测在重复图案中出现的缺陷，所述重复图案包括在其表面上规则设置的单元图案，包括：光源装置，所述光源装置具有光源，所述光源用于将光以期望的入射角施加至包括被检查目标的检查区域在内的区域；以及观察装置，所述观察装置具有光接收光学系统，所述光接收光学系统用于在所述光源装置施加光时，接收从与其垂直的被检查目标的检查表面产生的光，其中光源施加具有2度或更小的平行度、以及300000Lx或更高的照度的光。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于HOYA株式会社，未经HOYA株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610154371.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
