[发明专利]端子焊盘与焊料的键合构造、具有该键合构造的半导体器件和该半导体器件的制造方法无效
| 申请号: | 200610154045.X | 申请日: | 2006-09-20 |
| 公开(公告)号: | CN1941350A | 公开(公告)日: | 2007-04-04 |
| 发明(设计)人: | 田中康雄 | 申请(专利权)人: | 冲电气工业株式会社 |
| 主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王永刚 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明通过提高键合端子焊盘和焊料的键合部分对热应力的耐受性,来提高端子焊盘与焊料之间的键合的可靠性。本发明的键合构造具备:在基底(105)上形成的端子焊盘(120)、焊料(240)和在端子焊盘与焊料之间的、端子焊盘的成分与Zn系材料(230)之间的反应生成物(260)。 | ||
| 搜索关键词: | 端子 焊料 构造 具有 半导体器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种端子焊盘与焊料的键合构造,其特征在于具备:在基底上形成的端子焊盘;焊料;以及在上述端子焊盘与上述焊料之间的、上述端子焊盘的成分与Zn系材料之间的反应生成物层。
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