[发明专利]可消耗材料的厚板及物理气相沉积靶材料有效
| 申请号： | 200610152334.6 | 申请日： | 2006-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1982498A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 萧义理;黄见翎;许志成;许呈锵;汪青蓉;余振华 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可消耗材料的厚板及物理气相沉积靶材料，包括至少一侦测器，用以对于该可消耗材料的厚板接近或已经减少至该可消耗材料的一既定量发出信号。本发明所述的可消耗材料的厚板及物理气相沉积靶材料，可降低物理气相沉积靶材的消耗成本，制造成本以及增加获利。 | ||
| 搜索关键词： | 消耗 材料 厚板 及物 理气 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种可消耗材料的厚板，其特征在于，该可消耗材料的厚板包括：至少一侦测器，用以对于该可消耗材料的厚板接近或已经减少至该可消耗材料的一既定量发出信号。
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