[发明专利]量测方法以及虚拟量测系统有效
| 申请号： | 200610149890.8 | 申请日： | 2006-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN101067742A | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | 张永政;傅学士;王英郎;郑芳田 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B13/02 | 分类号： | G05B13/02;G05B19/048 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种量测方法以及虚拟量测系统，特别涉及一种适用于半导体制造的虚拟量测系统与方法。接收程序数据与量测数据。根据程序数据与量测数据透过学习控制模型而产生预测数据。适用于制造厂的虚拟量测系统包括用以接收程序数据的错误侦测与分类系统，以及统计程序控制系统，用以对历史的实体量测数据执行统计程序控制而产生量测数据，且虚拟量测应用系统是用以根据程序数据与量测数据透过学习控制模型而产生预测数据。本发明所提供的量测方法以及虚拟量测系统，可透过降低实际程序或工具监控数据而改善产品制造的周期时间。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 以及 虚拟 系统 | ||
【主权项】：
1.一种量测方法，其特征在于，用以实现一制造厂中的一虚拟量测操作，所述量测方法包括：接收一程序数据以及一量测数据；以及根据上述程序数据与上述量测数据透过一学习控制模型而产生一预测数据。
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