[发明专利]感光性树脂组合物无效
| 申请号: | 200610149374.5 | 申请日: | 2006-11-16 |
| 公开(公告)号: | CN1967383A | 公开(公告)日: | 2007-05-23 |
| 发明(设计)人: | 大槻信章 | 申请(专利权)人: | 株式会社日本触媒 |
| 主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李贵亮 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供一种感光性树脂组合物,其固然兼顾曝光时的敏感度和碱性显影性,还能够提供维持良好的耐热性、尺寸稳定性优良、不显示脆性的固化物。该感光性树脂组合物的特征在于包含聚合物(A),该聚合物具有N-取代马来酰亚胺基、羧基和乙烯性不饱和双键,并且每100质量份的聚合物的乙烯性不饱和双键的摩尔数小于0.05摩尔。 | ||
| 搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】:
1、一种感光性树脂组合物,其特征在于,包含聚合物(A),该聚合物(A)具有N-取代马来酰亚胺基、羧基和乙烯性不饱和双键,并且每100质量份的聚合物的乙烯性不饱和双键的摩尔数小于0.05摩尔。
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