[发明专利]集成电路元件可变性测量的方法和集成电路器件有效
| 申请号： | 200610146592.3 | 申请日： | 2006-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN1979205A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | B·L·季;M·布尚;M·B·凯琴;W·E·亨施;K·M·G·V·格廷斯 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/26;H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 于静;李峥 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一个测量集成电路元件可变性的技术。至少一个第一阵列配置的一个特定参数被测量，该第一阵列配置包括多个集成电路元件，在该多个集成电路元件之间没有特定的内部连接。至少一个第二阵列配置的一个特定参数也被测量，该第二阵列配置包括多个集成电路元件，该多个集成电路元件和那些在第一阵列配置中的额定相同，并且在该多个集成电路元件之间有特定的内部连接。根据对于该至少一个第一阵列配置和该至少一个第二阵列配置的特定参数的测量，可以确定该集成电路元件的一个变化系数。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 元件 可变性 测量 方法 器件 | ||
【主权项】：
1、一个测量集成电路元件可变性的方法，包括步骤：测量至少一个第一阵列配置的特定参数，该第一阵列配置包括多个集成电路元件，在该多个集成电路元件之间没有特定的内部连接；测量至少一个第二阵列配置的特定参数，该第二阵列配置包括多个集成电路元件，该多个集成电路元件和那些在第一阵列配置中的集成电路元件额定相同，并且在所述多个集成电路元件之间有特定的内部连接；以及根据对该至少一个第一阵列配置和该至少一个第二阵列配置的测量的特定参数，确定该集成电路元件的一个变化系数。
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