[发明专利]用于检查物体的方法和设备有效
| 申请号： | 200610143649.4 | 申请日： | 2006-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN1955723A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 胡庆英;K·G·哈丁;J·B·罗斯;D·W·哈米尔顿 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;王勇 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于生成与光测量系统(10)一起使用的光罩(50、52)的方法(72)，光测量系统(10)包括用于将光投射到物体(12)上的光源(22)，和用于接收从物体反射的光的成像传感器(24)。该方法包括确定(74)要检查的物体的轮廓(56)，并且基于所确定的物体轮廓生成(86)电子光罩。电子光罩具有电子开口(62、68)，电子开口(62、68)具有定义为从光源和成像传感器其中之一的视角来看基本上与所确定的物体轮廓匹配的轮廓(64、70)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 物体 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于生成与光测量系统(10)一起使用的光罩(50、52)的方法(72)，所述光测量系统(10)包括用于将光投射到物体(12)上的光源(22)和用于接收从所述物体反射的光的成像传感器(24)，所述方法包括：确定(74)要检查的所述物体的轮廓；以及基于所确定的物体轮廓生成(86)电子光罩，其中所述电子光罩具有电子开口，所述电子开口具有定义为从所述光源和所述成像传感器其中之一的视角来看基本上与所确定的物体轮廓匹配的轮廓。
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