[发明专利]“一”字形结构三维微型实心、空心硅针和硅刀无效
| 申请号： | 200610143214.X | 申请日： | 2006-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN1994486A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 岳瑞峰;王燕;刘理天 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | A61M5/32 | 分类号： | A61M5/32;A61M5/158;A61B17/3209;A61B10/00;H01L21/027;H01L21/306;G03F7/00;C23F1/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于显微外科手术器械及微细加工技术领域的“—”字形结构三维微型实心、空心硅针或硅刀及制备方法。采用微电子工艺制备的微型硅针或硅刀的针或刀尖顶部为与单晶硅的一族(111)面平行的“—”字形结构；“—”字形结构是宽度较窄的直线或同一平面或凸面上的曲线。在微型空心硅针或硅刀“—”字形结构附近的一侧或两侧或中间开有三角形或梯形或六边形或类似三角形或类似梯形或类似六边形的孔，并且这些孔与硅针或硅刀底部由六个(111)面形成的倒三角沟槽结构相连形成通孔。本发明能够实现低成本、高产率、批量化制造，在透皮给药、微量体液提取、显微外科手术等生物医学领域具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 字形 结构 三维 微型 实心 空心 | ||
【主权项】：
1.一种三维微型硅针，其特征在于：所述微型硅针的针尖顶部为与单晶硅的一族(111)面平行的“一”字形结构；所述“一”字形结构是宽度较窄的直线或同一平面或凸而上的曲线；微型硅针的针尖处“一”字形部分的长度为10纳米～50微米，宽度为0～50微米。
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