[发明专利]可变形镜以及具有该镜的光学拾取装置无效

专利信息
申请号: 200610142819.7 申请日: 2006-10-26
公开(公告)号: CN101008704A 公开(公告)日: 2007-08-01
发明(设计)人: 丁子英树;前田重雄;小寺秀俊;神野伊策 申请(专利权)人: 船井电机株式会社;国立大学法人京都大学
主分类号: G02B26/08 分类号: G02B26/08;G02B7/182;G11B7/135;G11B7/095
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 王玉双
地址: 日本大阪*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种可变形镜,具有:基板;形成于基板上的下部电极膜;形成于下部电极膜上的压电膜;形成于压电膜上的上部电极膜;和镜膜,其直接形成于基板上,并且设置为由下部电极膜、压电膜、和上部电极膜所构成的驱动部包围。该镜膜设置在基板中所设置的可动部上,并且驱动部的至少一部分设置在该可动部上。
搜索关键词: 变形 以及 具有 光学 拾取 装置
【主权项】:
1、一种可变形镜,包括:驱动部,其包括压电膜、以及将该压电膜夹在中间的第一和第二电极膜;基板,其支撑着该驱动部并且该基板的一部分通过被薄化而形成可动部;镜膜,其直接形成于该可动部上,以便当该驱动部被驱动时,该镜膜改变其形状;其中,该镜膜形成于基板的与经过处理而形成可动部的一侧相对的侧面上;并且该镜膜形成为不与该驱动部重叠,或者与所述第一和第二电极膜之一形成为一体;其中,该驱动部的至少一部分设置在该可动部上。
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