[发明专利]蒸发源部件及使用该部件的真空沉积装置无效
| 申请号： | 200610141826.5 | 申请日： | 2006-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1940123A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 李政烈;崔镕中;马成乐;闵卿旭 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 韩明星;谭昌驰 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蒸发源部件和一种使用该部件的真空沉积装置，该真空沉积装置包括真空室、坩锅、加热器和位于坩锅内部的多层内板，其中，多层内板中的各层具有至少一个孔，从而蒸发材料可从坩锅底部穿过多层内板排到真空室中。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 部件 使用 真空 沉积 装置 | ||
【主权项】：
1、一种蒸发源部件，包括：坩锅；加热器；多层内板，位于所述坩锅内部，所述多层内板的各层具有至少一个孔。
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